詳細(xì)內(nèi)容
設(shè)備特點(diǎn)：
與IGV?動(dòng)對(duì)接，具備安全防呆功能、先進(jìn)先出。?體式設(shè)計(jì)，帶防塵FFU，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)定，維護(hù)方便，齒輪齒條升降，三層四條導(dǎo)軌，立體緩存，占用空間小，承載能力大，兼容性強(qiáng)。
技術(shù)參數(shù)：
| 序號(hào) | 參數(shù)項(xiàng)目 | 參數(shù)指標(biāo) |
|---|---|---|
| 1 | 機(jī)體型號(hào) | 120緩存機(jī) |
| 2 | 尺寸 | 5078*2000*2985 mm |
| 3 | 緩存量 | 12000PSC |
| 4 | UP-time | ≥99.9% |
| 5 | 傳輸軌道速度 | 0m/min-20m/min |
| 6 | 適用硅片規(guī)格 | 182兼容230 |
| 7 | 適用硅片盒規(guī)格 | 270*290*700 mm |
| 8 | 過濾氣壓 | 穩(wěn)壓， 0.4-0.6MPa |
| 9 | 總功率 | 4.5KW、5.5KW、6KW |
| 10 | 氣源氣壓 | 0.45-0.7MPa |
| 11 | 電源電壓 | AC220V±10% 50HZ |
