詳細(xì)內(nèi)容
設(shè)備特點(diǎn)：
帶升降功能，與IGV自動(dòng)對(duì)接。雙層設(shè)計(jì)，效率高，智能存儲(chǔ)，實(shí)現(xiàn)料盒內(nèi)部循環(huán)。具有占用空間小、承載能力大、兼容性強(qiáng)、分段模塊化設(shè)計(jì)、組裝方便等特點(diǎn)。
技術(shù)參數(shù)：
| 序號(hào) | 參數(shù)項(xiàng)目 | 參數(shù)指標(biāo) |
|---|---|---|
| 1 | 機(jī)體型號(hào) | 發(fā)料機(jī) |
| 2 | 設(shè)備產(chǎn)能 | 72000PSC/H |
| 3 | UP-time | ≥99.9% |
| 4 | 傳輸軌道速度 | 0m/min-20m/min |
| 5 | 適用硅片規(guī)格 | 182兼容230 |
| 6 | 適用硅片盒規(guī)格 | 758*242*150 mm |
| 7 | 過濾氣壓 | 穩(wěn)壓， 0.4-0.6MPa |
| 8 | 總功率 | 1.5KW |
| 9 | 氣源氣壓 | 0.45-0.7MPa |
| 10 | 電源電壓 | AC220V±10% 50HZ |
